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(中央社記者張建中新竹2013年3月4日電)半導體設備廠漢微科 (3658) 對第1季營運展望樂觀，預期第1季業績可望持續攀高，創歷史新高紀錄。
受惠半導體廠持續積極衝刺先進製程，並擴大資本支出，刺激電子束檢測設備需求急遽增溫，帶動漢微科去年營運高成長。
漢微科去年營收新台幣41.8億元，年增56.09%，創歷史新高紀錄，稅後淨利15.2億元，年增1.32倍，每股純益23.34元。
展望今年，漢微科表示，半導體廠商持續積極擴充先進製程產能，電子束檢測設備需求依然穩定成長，預期第1季營收將可較去年第4季再微幅成長，有機會續創單季歷史新高紀錄，毛利率將可持穩。
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