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103.12.01【時報-台北電】台積電搶先下單將在明年買進2台NXE:3350B量產型極紫外光（EUV）系統曝光機，10奈米軍備競賽正式開打，不僅韓國三星電子及SK海力士已放話跟進，英特爾及格羅方德（GlobalFoundries）也同樣有採購計畫。隨著EUV步向量產之路，設備廠家登 （3680） EUV光罩盒（EUV Pod）接單強強滾，明年已是大單在握。

　半導體微影設備大廠荷商艾司摩爾（ASML）主導的EUV微影技術導入量產進度超乎市場預期，除了今年中每天曝光晶圓量已大於500片，預計明年每天曝光晶圓量可大於1,000片，2016年將逾1,500片，電射光源功率順利提升到250W，等於每小時的晶圓產量（throughput）大於125片，達12吋晶圓廠的最低量產標準。

　設備業者表示，各家半導體廠的10奈米製程量產時間點，約落在2017年之後，若EUV曝光機2016年每天曝光晶圓量可如預期般大於1,500片，代表10奈米微影製程中部份光罩曝光會開始採用EUV技術，2019年之後進入7奈米世代後，EUV將取代目前的多重曝影（multi-patterning）技術並成為微影技術市場主流，屆時全球EUV機台累計出貨量將達60台以上。

　為了提前進行EUV產能布建及為技術提前練兵，台積電已宣布明年將率先採購2台量產型機台，加上現有的2台EUV設備可改機成為量產型機台，明年底就可擁有4台可供量產的EUV機台，每天可支援曝光晶圓量將逾4,000片。業界認為，台積電大動作建置EUV生產線，等於宣告10奈米將是首度導入EUV微影技術的製程節點，英特爾、三星、格羅方德等絕對會在明年跟進，記憶體廠SK海力士也會有所動作。

　全球五大半導體廠搶買EUV機台，市場上唯二通過認證的極紫外光光罩盒的家登，成為主要受惠者之一。法人指出，隨著EUV機台陸續安裝並開始生產，而且每天投片量快速拉升，屬於耗材的光罩盒需求量會愈來愈大，家登明年可說已是大單在握。

　家登公告10月營收1.52億元較去年成長23.3％，樹林廠光罩傳載解決方案相關產品產能近滿載，主力客戶拉貨力道強勁，不僅EUV光罩盒供不應求，大尺寸LCD光罩盒及客製化8吋晶圓傳載盒等需求暢旺，訂單能見度直透明年第一季。（新聞來源：工商時報─記者涂志豪╱台北報導）