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101.08.06台積電 (2330) ( (US-TSM) )宣佈加入荷蘭艾司摩爾（ASML）公司「客戶聯合投資專案」（Customer Co-Investment Program），希望加速下一世代關鍵半導體製造技術極紫外光(EUV)微影技術與450mm（18吋）晶圓微影設備的開發及量產。

根據協議，台積公司將投資ASML8.38億歐元(約新台幣310.64億元)以取得該公司5%股權，同時並承諾未來五年共投入2.76億歐元(約新台幣102.3億元)支持ASML的研發計畫。

台積電執行副總經理暨共同營運長蔣尚義表示，縮小積體電路尺寸(IC scaling) 目前所面臨的最大挑戰之一，在於如何有效控制日益攀升的晶圓製造成本。

台積電相信挹注ASML研發經費將確保並加快EUV微影技術的開發，同時也能提高既有光學微影工具的效能，促進450mm晶圓製造技術的快速發展。這項努力將有助半導體產業控制晶圓成本，保障摩爾定律持續演進可帶來的經濟效益。

ASML執行長Eric Meurice指出，歡迎台積電加入該公司今年七月九日公佈的客戶聯合投資專案，其目的是為了讓關鍵微影技術的發展順利且加速進行。這些技術不僅將使該公司的投資夥伴受益，整個半導體產業也得以受惠。

ASML與台積電延續之前193微米浸潤式微影技術的成功經驗，希望繼續攜手領先業界開發下一世代關鍵微影技術，本次合作是ASML與台積電長期夥伴關係的自然延伸。