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102.07.15【時報-台北電】設備大廠應用材料宣布推出新世代的缺陷檢測及分類技術，加速達成10奈米及以下的頂尖晶片生產良率。SEMVision G6系統獨特的多維影像分析功能為半導體製造提供最高解析度及影像品質，先進的系統設計與全自主式功能，能提高100％更快速的產出。

包括台積電、英特爾等半導體大廠，已經展開10奈米的研發作業，設備大廠應用材料在其SEMVision系列設備上，推出一套最新缺陷檢測及分類技術，該設備的缺陷分析系統結合前所未有高解析度、多維影像分析功能，及革命性創新的Purity自動化缺陷分類（ADC）系統高智能的機器學習演算法，同時為半導體產業引進首創缺陷檢測掃瞄電子顯微鏡（DR SEM）技術。

應用材料企業副總裁暨製程診斷與控制事業處總經理依泰．羅森費德（Itai Rosenfeld）表示，在面對新的10奈米設計規則及3D架構技術要求，現有的缺陷檢測及分類技術能力面臨挑戰。新型的SEMVision G6與Purity ADC以影像分析及更快且更準確的強大分類工具，解決半導體業缺陷檢測諸多製程控制上最艱鉅的問題。

據了解，包括台積電、英特爾在內的多家半導體大廠，已裝置應用材料SEMVision G6與Purity ADC系統，並且受惠100％更快速的產出、優異的影像功能和最先進的分類品質，因而提高良率。(新聞來源：工商時報─記者涂志豪／台北報導)