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102.08.22【時報-台北電】隨著台積電、英特爾、三星等半導體大廠將在明年微縮製程進入20奈米以下世代，設備廠也展開新一波的搶單計畫。

在應用材料於其SEMVision系列設備上引進首創缺陷檢測掃瞄電子顯微鏡（DR SEM）技術後，另一設備大廠科磊（KLA Tencor）昨（21）日宣布，同步推出新一化光學及電子束晶圓缺陷檢測系統。隨著兩大設備廠已搶進台積電及英特爾供應鏈，對於國內設備廠漢微科來說競爭壓力大增。

雖然半導體市場下半年景氣能見度不高，但是包括台積電、英特爾、三星、格羅方德（GlobalFoundries）、聯電等大廠，仍積極投入擴充新產能，尤其是明年將相繼跨入20奈米，後年則會進入16奈米或14奈米鰭式場效電晶體（FinFET）世代，也因此，國內外設備大廠已積極布局爭取商機。

在晶圓缺陷檢測設備市場上，國內設備廠漢微科靠著電子束檢測設備打響名號，現在已經打入台積電、三星、英特爾等大廠供應鏈。由於缺陷檢測攸關製程良率的提升速度，國際大廠如應用材料、科磊等，也已在光學及電子束檢測設備市場推出新一代產品，同樣也獲得台積電、英特爾等大廠青睞及採用。

法人表示，雖然漢微科在各大半導體廠的電子束缺陷檢測設備市場占有率仍高，但應用材料及科磊大動作進行卡位，尤其在現有光學缺陷檢測設備平台上增加支援，降低晶圓廠成本，的確會對漢微科造成競爭壓力。(新聞來源：工商時報─記者涂志豪／新竹報導)