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103.04.14【時報-台北電】電子產品驗證服務廠宜特科技 (3289) 昨(10)日公告3月營收達1.53億元,年增22.5%並創下單月歷史新高。隨著半導體產業朝28/20奈米發展,晶圓廠在先進製程的技術趨向成熟之勢,宜特升級設備能力,引進業界最高階Dual Beam FIB(雙束型聚焦離子束)設備,此機台具低電壓及高對比影像之優勢,目前已協助客戶完成28/20奈米先進製程分析與樣品製備。
宜特總部Dual Beam FIB測試服務的三大特色:
一、可在1kV超微小低電壓條件下,獲得0.9nm超高解析度之清晰影像,並於TEM樣品製備時,避免因離子束破壞樣品表面造成表現形成一非晶質層(amorphous layer)。
二、宜特專業能力可獲得小於28奈米的影像,幫助客戶更能清楚判斷產品形貌(morphology)。
三、最大電流可達65nA,最大切割速度提昇三倍,或同一時間離子束切割範圍擴大三倍。(新聞來源:工商即時 涂志豪)
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