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2019-08-17 16:54聯合晚報 第一金投顧董事長 陳奕光

隨著半導體先進製程的推進，半導體廠對高生產效率及潔淨度的要求越來越高，使自動化物料搬運系統（Automatic Material Handling System，AMHS）在未來2~3年成為熱門題材。

晶圓製造自動化最重要的系統莫過於CIM系統（Computer Integrated Manufacturing，電腦整合製造），這套系統主要由MES與自動化搬運系統（AMHS）所組成。CIM系統就像是人的身體，MES就像大腦，而自動搬運系統（AMHS）就如同人體的手腳，負責執行大腦的命令。當命令下至自動搬運系統，系統就如同夾娃娃機般，將完成某一階段製程的晶圓夾起，自動運至下一站。

過去在8吋晶圓廠時代，MES系統是最重要的，搬運系統通常則是輔助的角色；只要MES不要出問題，即便搬運系統有問題，也可以透過人力來搬貨，工廠還是照樣出貨。

最先進12吋廠則是完全自動化，從MES到自動搬運系統，任一個環節出現問題，整個流程就會馬上停擺。而人機比也從早期8吋1：3，到12吋1：20，現在最先進12吋廠甚至高達1：75，代表著全廠自動化在未來數年內將成為半導體廠資本支出重點。

早期台灣龍頭半導體廠自動化主要由日商大福高科（TYO：6383）提供，但近年來台廠自動化技術越趨成熟，設備品質幾乎與日商差異不大，且具有地緣及成本優勢，如迅得（6438）、盟立（2464）、萬潤（6187）這幾年在半導體自動化皆有所著墨，在未來2~3年趨勢中將可望受惠。